無塵車間潔凈度
維持之最大控制對象為作業(yè)人員，因此對于作業(yè)人員之?dāng)?shù)目、 行動(dòng)狀態(tài)、進(jìn)出規(guī)則之制定與執(zhí)行，提高無塵車間內(nèi)作業(yè)人之潔凈度意識、反復(fù)教育。
1. 進(jìn)入無塵車間之人員，必須要具備有達(dá)成高潔凈度標(biāo)準(zhǔn)，并要維持最好狀態(tài)。
2. 作業(yè)人員進(jìn)入無塵車間數(shù)目以維持最小限度原則（愈少愈好），并須依無塵車間進(jìn)出標(biāo)準(zhǔn)流程進(jìn)出無塵車間。
進(jìn)出無塵車間物料的管理
1. 物料及設(shè)備之進(jìn)出也必須經(jīng)過潔凈程序，方不至于影響無塵車間之潔凈度。
2. 工作人員于其室內(nèi)清潔設(shè)備或物料時(shí)必須穿著潔凈衣服，所使用之擦拭紙為無塵紙或不會脫落織毛之無塵布，清潔劑除了使用超純水之外，并加入 3~5％濃度的 IPA 或丙酮化學(xué)品，以增強(qiáng)去污能力，由于 IPA 及丙酮具揮發(fā)性，故此房間之排氣效果須特別考慮。
3. 無塵車間內(nèi)用品除了進(jìn)出無塵車間用的潔凈衣、鞋、頭罩、帽、手套、口罩外， 尚有如紙張文具、桌子、椅子、芯片盒、搬運(yùn)車、筆記本、告示板及垃圾箱、 吸塵器等。潔凈衣之材料以洗后或使用其它處理后仍不會發(fā)塵者為基本條件，且其布 料為不易燃燒、不起毛，其織法或布料之組織不易通過污染物和不附著污染物 之材質(zhì)，另外經(jīng)過磨擦不產(chǎn)生靜電或帶電性非常小，洗滌再生容易、不易皺、 著衣感舒適等亦為選用考慮因素。頭罩材質(zhì)為無塵紙或無紡布制成，帽子材質(zhì)則與潔凈衣相同，二者在穿戴使用時(shí)，除了只露出眼睛和臉表面部分外，其它 部分均需包覆，在頭部部分連接上衣處也必須全蓋住，不能留有空隙，頭發(fā)亦不能露出來。無塵車間用鞋要合腳且穿起來舒適為基本條件。
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